设备真空系统主要由真空室、泵系统和各控制阀及热交换器组成。其中泵系统由机械泵、维持泵、罗茨泵、扩散泵等构成。阀门包括前级阀(碟阀)、旁路阀(碟阀)、维持泵阀(碟阀)和高阀(板阀)组成，各阀门均为气动阀，由PLC控制气动阀进行控制。加热室主要由不锈钢加热室壳体、不锈钢反射屏、加热器、陶瓷绝缘件、水冷电极、炉床等组成。

　　真空钎焊炉的原理：

　　真空系统工作时，首一先启动机械泵、维持泵和扩散泵（加热），同时打开前级阀和维持泵阀，对扩散泵内进行抽真空。当真空度达到系统某一设定值时，罗茨泵启动，同时旁路阀打开，前级阀关闭，此时对真空室进行抽低真空当扩散泵加热至规定温度并且真空度高于规定值时，高阀打开，旁路阀关闭，前级阀打开。此时对真空室抽高真空，达到工艺要求的真空度以后，方可进行热处理工作。热加工过程完成后，由热交换器对真空室充入高纯氮气进行强制冷却，完成整个工艺过程。