真空炉一般由主机、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统和炉外运输车等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位于密封炉壳内。根据炉子用途,炉膛内部装有不同类型的加热元件，如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。

　　真空炉热处理工艺的操作流程：

　　1、工件在真空状态下淬火，应使用真空淬火油，此油具有较低的饱和蒸气压。

　　2、真空炉的保养应在真空或充纯氮状态下，避免平时不用时吸气，吸潮。

　　3、国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，国外某些企业的标准为0.67Pa/h。

　　4、真空回火炉应该具有快冷装置。冷却水的压力应该大于0.2Mpa，流量应可调。

　　5、处理钛合金时，不宜用氮气作为冷却气体，因为钛和氮在高温下反应，形成金黄色的氮化钛。

　　6、冷却气体：钢一般采用百分之99.995纯度的氮气，高温合金采用百分之99.999的氮气或氩气，钛合金采用百分之99.995的氩气。

　　7、真空加热以辐射为主，工件在炉内应该保持间距。

　　8、升温过程中，工件及炉内材料会放气，使真空度下降。

　　9、升温：放入工件后，一般先预抽至6.67Pa时方可升温加热

　　10、真空回火、真空退火、真空固溶处理及真空时效的加热温度一般与常规处理时加热温度相同。