真空热压烧结炉是一种用于高性能材料加工的先进设备,广泛应用于半导体、陶瓷和金属材料等领域。由于其复杂的结构和高温高压的工作环境,真空热压烧结炉在日常运行中可能会遇到各种紧急情况。为了确保设备的安全稳定运行,必须制定详细的应急措施。以下是针对真空热压烧结炉日常应急措施的描述:
1. 冷却水异常
- 确认加热电源已停止:当发现冷却水异常时,第一步应立即确认并停止加热电源,以防止设备过热。
- 采取应急措施保证水量:如果冷却水量不足,应尽快采取措施补充水量,保持真空状态。如果不能及时处理,则保持设备原状,等待自然冷却。
- 接通紧急用冷却水:在高温状态下(超过200℃),如果冷却水停止,应立即接通紧急冷却水,防止水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵被损坏。
2. 压缩空气停止
- 恢复压缩空气供应:当压缩空气异常报警时,应迅速到备用的压缩机房,恢复压缩空气供应。
- 终止真空让设备停下:如果压缩空气恢复需要较长时间,应终止真空,让设备停下来,避免设备在无压缩空气的情况下继续运行。
3. 停电
- 接通备用冷却水:停电时,首先检查是否断水。如果断水,应立即接通备用的冷却水,保证水源供应。
- 根据情况重新启动或保持原状:在非升温、加热和冷却阶段,如果电力能够尽快恢复,可以重新启动设备继续运行;如果需要较长时间恢复,则将设备保持原状。
- 自然冷却:如果在加热和冷却阶段停电,且短时间内无法恢复电力,应保持设备原状,让其自然冷却下来。
4. 加热电源掉电
- 检查水压和接地故障:当加热电源掉电时,首先检查水压是否低于0.15MPa以及是否存在接地故障。
- 处理真空放电问题:如果炉内压力为13.3-66.5Pa,可能是由于电介质击穿引起的放电。此时应检查水冷电极接头与加热器的连接是否牢固,并确保与反射屏绝缘良好。
5. 充气气体停止
- 确认气体管路是否堵塞:抽真空开始前,如果气体充入时间长或者无法充入,应先确认气体管路是否被堵塞。
- 检查电磁阀及充气阀动作:如气体管路没有问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作是否正常。必要时,停止相关联的设备进行检查。
- 关闭气体系统:如果向真空室内充气不能停止,泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
- 检查是否有漏气:确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。
6. 真空室压力恶化
- 停止设备进行检查:当真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,通过压力上升测试或用氦气检漏来确认是漏气还是放气的影响。