真空碳管烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡（润滑剂或成形剂）、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行的控制。

　　真空碳管烧结炉主要用于工业陶瓷、结构陶瓷、金属陶瓷、硬质合金行业作为材料在气氛和压力条件下的烧结设备。系周期作业式电炉，它是以优质石墨作发热体的高温、高真空电阻炉，额定温度为2000℃。在特殊需要的情况下，允许在保护气氛中，短时间工作到2400℃-2500℃。可供金属、难熔化合物及陶瓷材料等在真空或保护气氛中加热之用。

　　真空碳管烧结炉的使用技巧：

　　1、当使用氢气或分解氨时，要先通入氮气，在确保炉中的空气*被排出时，才能通电升温，以防止打鸣和爆炸。

　　2、对钼丝作加热元件的烧结炉，在通电前炉体中应通入保护气体，以防止钼丝氧化而脆断。

　　3、炉门及气体排出口应点明火烧除，以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。

　　4、若电热元件为铁铬铝电阻丝，在升温至1100℃时应停留一段时间（30min左右）再升温，以防止电阻丝表面温度过高而损坏。

　　5、在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求，以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。

　　6、停炉前应先断电，在炉温降到200℃以下时再停气和停水。

　　7、除了因维修必须停炉外，要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停，会造成加热元件易于老化，耐火材料易于碎裂，炉内气氛不纯，炉温容易波动等弊端。